Skenējošais elektronu mikroskops (SEM) ir ļoti augstas izšķirtspējas mikroskops, kas ļauj ļoti sīki redzēt sīkumus. Šis ir ātrs pārskats par to, kā nofotografēt paraugu, izmantojot vienu. Paturiet prātā, ka SEM ir ļoti delikāts aprīkojums, un tas jālieto ļoti rūpīgi. Tomēr, rūpīgi sekojot šīm darbībām, gandrīz garantēsit, ka nesabojāsit mikroskopu. Ir arī daudzas citas funkcijas, kas nav aplūkotas šajā rakstā, taču šajā procedūrā ir aprakstīts, kā iegūt pamata attēlu.
Šajā rakstā ir sniegti īpaši norādījumi mikroskopam JEOL JSM-6010LA. Jebkuram JEOL mikroskopam ir ārkārtīgi līdzīgas vadīklas, kā šajā instrukcijā aprakstītajam mikroskopam. Arī Hitachi mikroskopi būs ļoti līdzīgi, taču citiem zīmoliem, piemēram, Zeiss, dažādās vietās var būt vadības pogas.
Soļi
1. solis. Iegūstiet sagatavotu paraugu
Parauga sagatavošana elektronu mikroskopijai pati par sevi ir ļoti padziļināta procedūra, tāpēc šai procedūrai izmantojiet jums sagatavotu paraugu. Ja paraugs ir sagatavots SEM, tam jābūt atbilstoša izmēra un arī ar vadošu virsmu. Tā kā paraugs jau tika sagatavots, šajā rakstā tiks pieņemts, ka tas atbilst šīm kvalifikācijām.
2. solis. Novietojiet SEM līdz atmosfēras spiedienam, lai atvērtu parauga durtiņas
Saprotiet, ka SEM vienmēr tiks ieslēgts, un paraugu kamera vienmēr būs vakuumā. Tas nozīmē, ka kamera būs pilnīgi tukša no visām gāzes molekulām, tāpēc elektroniem būs skaidrs ceļš uz paraugu. Nospiediet un turiet nospiestu pogu VENT, līdz tā mirgo un dzirdēsiet klikšķi. Poga VENT turpinās mirgot, līdz vide kamerā tiks paaugstināta līdz atmosfēras spiedienam. Kad poga VENT ir oranža, tas nozīmē, ka kamerā ir atmosfēras spiediens, un jūs varat atvērt durvis.
Solis 3. Uzvelciet cimdus
Tas ir ārkārtīgi svarīgi, jo SEM kamerai jābūt ļoti tīrai!
- Izmantojot rokturus abās durvju pusēs, lēnām izbīdiet durvis.
- Kad durvis ir atvērtas, uzmanīgi satveriet parauga turētāju un pabīdiet to pa labi. Tas atbrīvosies no rievām, un tagad jūs varat ielādēt savu paraugu.
- Katrā no četriem parauga turētāja stūriem ir divas skrūves, kas tur paraugu vietā. Nedaudz atskrūvējiet šīs skrūves (pietiek ar pusi skrūvgrieža apgriezienu) un pēc tam izņemiet tukšo paraugu no turētāja.
- Tukšo paraugu pagaidām varat nolikt malā, taču noteikti novietojiet to uz Kimwipe, nevis tieši uz galda vai galda. Ievietojiet paraugu turētājā, pēc tam pievelciet skrūves.
- Kad paraugs ir savās vietās, turpiniet un bīdiet parauga turētāju atpakaļ savās rievās parauga stadijā.
- Tagad jūs varat aizvērt durvis, iebīdot durvis atpakaļ kamerā.
4. solis. Turot aizvērtas durvis, nospiediet un turiet nospiestu EVAC pogu, līdz tā sāk mirgot, lai nodalītu kameru atpakaļ vakuumā
Jūs dzirdēsit klikšķus, pēc apmēram minūtes jūs dzirdēsiet sūkņa turbīnu griešanos. Šie sūkņi noņems visas gāzes daļiņas no kameras un paaugstinās iekšējo spiedienu līdz aptuveni 10^-6 torr. Kad EVAC poga deg zaļā krāsā, tas nozīmē, ka kamera atrodas vakuumā. Tagad pagaidiet vēl 5 minūtes, pirms turpināt nākamo darbību.
5. solis. Pēc 5 minūtēm esat gatavs ieslēgt elektronu staru un sākt fotografēt
- Dodieties uz SEM datoru un mikroskopa programmatūrai jābūt ieslēgtai. Zaļā poga ekrāna augšējā labajā stūrī pateiks OFF, norādot, ka elektronu stars ir izslēgts. Noklikšķiniet uz tā, lai ieslēgtu gaismu, un pēc tam būs redzams paziņojums IESLĒGTS.
- Pēc tam noklikšķiniet uz pogas ACB (automātiskais kontrasts un spilgtums), un jūsu paraugam vajadzētu parādīties.
- Izmantojot vadības paneļa palielinājuma pogu, tuviniet vēlamo palielinājumu. Ieteicams fokusēt ar lielāku palielinājumu, nekā vēlaties attēlam, tāpēc attēls izskatīsies labāk, kad tālināsit. Piemēram, ja vēlaties attēlu 2, 500x, varat fokusēties aptuveni 4 000x.
- Kad esat pietuvināts, izmantojiet fokusa pogu, lai fokusētu attēlu.
6. darbība. Pielāgojiet parauga augstumu
Tagad jūsu paraugs ir fokusā, taču, iespējams, pamanīsit, ka tas neizskatās tik labi, kā jūs varētu gaidīt.
- Zem parauga attēla datora ekrānā redzēsit darba attālumu, kas norādīts kā "WD x mm", kur x parasti ir skaitlis aptuveni 10-20. Ņemiet vērā šo numuru.
- Lai iegūtu labus attēlus, iespējams, vēlēsities izmantot 10 mm darba attālumu. Tas nozīmē, ka stars ir fokusēts 10 mm attālumā no objektīva. Lai iestatītu darba attālumu, noklikšķiniet uz "WD x mm", un parādīsies slīdnis, kas ļaus mainīt jebkuru skaitli x uz 10. Turpiniet un noklikšķiniet uz 10.
- Pašlaik parauga augstums ir Z = 25 mm. Lai mainītu parauga augstumu, izmantojiet Z-pogu. Šī daļa var būt sarežģīta. Neatkarīgi no sākotnējā darba attāluma, atņemiet 10 no un tas ir, cik daudz jums būs nepieciešams, lai pārvietotu Z pogu. Piemēram, ja jūsu WD bija 16 mm un jūs to nomainījāt uz 10 mm, jums būs jāpārvieto Z-poga uz leju aptuveni 6 mm. Tātad jūs to pagriezīsit apmēram 19 mm.
- Griežot Z pogu, skatieties ekrānu, jo tas sāks fokusēties. Kad tas ir fokusēts, jūsu attēls ir gatavs!
7. solis. Tāliniet līdz vēlamajam palielinājumam un, ja vēlaties pāriet uz citu parauga apgabalu, varat izmantot pogas X un Y
Varat arī pielāgot kontrastu un spilgtumu pēc saviem ieskatiem. Kad atrodat apgabalu, kas jums patīk, uzņemiet attēlu, noklikšķinot uz kameras ikonas ar uzrakstu “STORE”. Tiks atvērts dialoglodziņš, kurā varēsit saglabāt attēla failu. Jūs varat nosaukt failu pēc izvēles un saglabāt to jebkurā datora mapē vai zibatmiņas diskā.
8. solis. Izslēdziet elektronu staru kūli, noklikšķinot uz zaļās pogas, kas augšējā labajā stūrī saka “ON”
Pirms turpināt, pārliecinieties, ka uzraksts ir “OFF”. Pagrieziet pogas X, Y un Z tā, lai katra vērtība būtu 25 mm. Tagad nospiediet un turiet nospiestu pogu VENT, līdz tā mirgo, lai parauga kamerā atgrieztos atmosfēras spiediens.
9. solis. Atveriet paraugu nodalījumu, tiklīdz VENT poga ir oranžā krāsā
Kad esat izņēmis paraugu no turētāja, ievietojiet tukšo paraugu atpakaļ turētājā un iebīdiet to atpakaļ parauga stadijā. Atbīdiet durvis aizvērtā stāvoklī. Visbeidzot, nospiediet un turiet EVAC pogu, līdz tā mirgo. NEKAD neatstājiet SEM kameru vēdināmu, tas var sabojāt iekšējās daļas. Tiklīdz EVAC poga iedegas zaļā krāsā, to var saglabāt, lai izietu no SEM.
Brīdinājumi
- Pieskaroties visam, kas nokļūs paraugu kamerā, ir ļoti svarīgi valkāt cimdus!
- Nekad atstājiet SEM kameru vēdināmu. Ja pametat SEM, pārliecinieties, vai EVAC poga deg zaļā krāsā.
- Ja jūsu paraugs nav īpaši sagatavots SEM, neievietojiet to mikroskopā! Daži paraugi vienkārši netiks rādīti labi, bet citi faktiski var sabojāt iekšējās daļas.
